ステンレス・キャニスター


微小な汚れも許さない半導体製造に使用されています。
 
ステンレスキャニスター は、半導体製造用 の高純度薬品容器として開発されたもので、バック ガス(Ar ガス等)でシールしながら溶接し、中の洗浄 が非常に容易な構造になっています。

内溶液の排出は、外気との接触を避ける加圧方式。
 
カプラープラグからN2 ガスなどで容器を加圧(0.2MPa未満)すれば、内容液が外気に触れずに排出でき ます。高純度薬品などをクリーンなまま製造ラインに供給 できます。また、水質試験用サンプルを前処理装置 までコンタミを防いで圧送できます。

内面洗浄は、標準仕様が酸洗。オプションで、 電解研磨→純水洗浄も可。
 
容器内面を電解研磨して、接液部をさらにスムースに して耐食性を向上できます。その後処理で純水洗浄 を行えば、きわめて高いクリーン度が得られます。
( 一度酸洗いした後の電解研磨は行えません。ご注文 時にご指定ください)

S-PAC(ステンレスキャニスターⅡシリーズ)

※上記商品の価格についてはお問い合わせください。都度お見積りいたします。
発注記号 内径(mm) 容量 重量 接地部分 板厚(mm)
S-PAC18F φ 226 18L 約5.2kg カール式 t 0.8
S-PAC20F φ 300 20L 約5.2kg スタッキング式
S-PAC100F φ 502 100L 約44kg カール式 t 2.0
S-PAC200F φ 567 200L 約56kg カール式 t 1.5